EUVの光子計数には、光電物質付マイクロチャネルプレート(MCP)を使う。MCPで増幅された電子雲を、四角形の抵抗体アノードで受け、四隅に流れる電荷量からMCP上の光子位置を求める方式が使われてきた(下図 左)が、積分回路が必要となり、計数のダイナミックレンジは数10キロHz程度で飽和する。

そのため、分光器が暗い輝線を検出することができなくなり、プラズマ診断を使った結果の誤差を大きくする。
したがって、光子位置を測定する方法として、電子雲がアノードの四隅まで到達する時間差を計測する手法を新たに開発する(下図 右)。

現在までの検討で、導線を糸巻き状にしたアノードに電子雲を落とす方法が位置とダイナミックレンジの点で優良だという判断をした。